高纯度摘要
TEAl SSG是一种用于原子层沉积(ALD)过程的铝前驱体。
产品名称
蒂尔江源发展促进会化学家庭
高纯度摘要CAS号码
97-93-8物质形态
液体区域可用性
非洲,亚洲，亚太地区，中国欧洲,全球性的,印度，拉丁美洲,中东，北美,大洋洲化学名称
Triethylaluminum分子量
114.2应用程序
TEAl SSG是硅半导体工业中用于原子层沉积(ALD)工艺的高质量铝前驱体。容器由不锈钢制造，内部经过电镀抛光，并配备了用于顶部排放和隔膜阀的dip管。隔膜阀配置金属垫圈表面密封连接。
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